Kuchengetedzwa kwezvakatipoteredza kuri kutariswa zvakanyanya, kunyanya nekuwedzera kwemamiriro ekunze ane mhute. Kucheneswa kwemakamuri ndeimwe yenzira dzekuchengetedza zvakatipoteredza. Ungashandisa sei kucheneswa kwemakamuri kuti uite basa rakanaka mukuchengetedza zvakatipoteredza? Ngatitaurei nezvekudzora mukuchenesa makamuri.
Kudzora tembiricha uye hunyoro muimba yakachena
Kupisa nekunyorova kwenzvimbo dzakachena zvinonyanya kutariswa zvichienderana nezvinodiwa pakushanda, asi kana zvikaenderana nezvinodiwa pakushanda, kugadzikana kwevanhu kunofanira kutariswa. Nekuvandudzwa kwezvinodiwa pakuchenesa mhepo, pane maitiro ekuwedzera kwezvinodiwa pakushanda kwekupisa nekunyorova.
Semutemo wenguva dzose, nekuda kwekuwedzera kwekunyatsorongeka kwekugadzirisa, zvinodiwa zvekuchinja-chinja kwekushisa zviri kuramba zvichiderera. Semuenzaniso, mukuita kwe lithography uye exposure process yekugadzirwa kwedunhu rakabatana rakakura, musiyano mu thermal expansion coefficient pakati pegirazi nesilicon wafers dzinoshandiswa semask materials uri kuramba uchiderera.
Wafer yesilicon ine dhayamita ye100 μ m inokonzera kuwedzera kwemutsara kwe0.24 μ m kana tembiricha ikakwira nedhigirii rimwe. Nokudaro, tembiricha inogara iripo ye ± 0.1 ℃ inodiwa, uye hunyoro hunowanzova hwakaderera nekuti mushure mekudikitira, chigadzirwa chinenge chasvibiswa, kunyanya mumaworkshop e semiconductor anotya sodium. Rudzi urwu rweworkshop harufanirwe kudarika 25℃.
Kunyorova kwakanyanya kunokonzera matambudziko akawanda. Kana hunyoro hwacho huchipfuura 55%, kunyorova kuchaumbwa pamadziro epombi yemvura inotonhorera. Kana zvikaitika mumidziyo kana maseketi akanyatsogadzirwa, zvinogona kukonzera tsaona dzakasiyana-siyana. Kana hunyoro hwacho huri 50%, zviri nyore kuita ngura. Pamusoro pezvo, kana hunyoro hwacho hwakanyanya, guruva rinonamira pamusoro pesilicon wafer richanyungudutswa nemakemikari pamusoro pemvura kuburikidza nemamorekuru emvura ari mumhepo, izvo zvakaoma kubvisa.
Kana hunyoro hwacho hwakakwira, zvinova zvakaoma kubvisa kunamira kwacho. Zvisinei, kana hunyoro hwacho huri pasi pe30%, zvidimbu zvinonyungudikawo zviri nyore pamusoro nekuda kwesimba remagetsi, uye huwandu hwakawanda hwezvishandiso zve semiconductor hunogona kuputsika. Tembiricha yakakwana yekugadzira silicon wafer i35-45%.
Kumanikidzwa kwemhepokutongamuimba yakachena
Kune nzvimbo zhinji dzakachena, kuitira kudzivirira kusvibiswa kwekunze kuti kusapinde, zvakakosha kuchengetedza kumanikidzwa kwemukati (static pressure) kwakakwirira kupfuura kumanikidzwa kwekunze (static pressure). Kuchengetedza musiyano wekumanikidzwa kunofanirwa kutevedzera misimboti inotevera:
1. Kumanikidzwa munzvimbo dzakachena kunofanira kunge kwakakwira kupfuura munzvimbo dzisina kuchena.
2. Kumanikidzwa munzvimbo dzine hutsanana hwakanyanya kunofanira kunge kwakakwira kupfuura munzvimbo dziri pedyo dzine hutsanana hwakaderera.
3. Masuo ari pakati pemakamuri akachena anofanira kuvhurwa akananga kumakamuri ane hutsanana hwakanyanya.
Kuchengetedza musiyano wekumanikidzwa kunoenderana nehuwandu hwemhepo yakachena, iyo inofanira kukwanisa kutsiva kubuda kwemhepo kubva pamupata uri pasi pemusiyano uyu wekumanikidzwa. Saka zvinoreva musiyano wekumanikidzwa ndiko kuramba kwekubuda kwemhepo (kana kupinda) kuburikidza nepakati pemipata yakasiyana-siyana mukamuri rakachena.
Nguva yekutumira: Chikunguru-21-2023