Cleanroom imba ine huwandu hwakadzika hwezvinhu zvakasungirirwa mumhepo. Kuvakwa kwayo nekushandiswa kwayo kunofanira kuderedza kupinda, kugadzirwa uye kuchengetwa kwezvinhu mukati. Zvimwe zvinhu zvakakosha zvakaita sekupisa, hunyoro uye kumanikidzwa mukamuri zvinofanirwa kudzorwa sezvinodiwa. Cleanroom inokamurwa nenhamba yezvikamu zvehukuru hwakati hwezvinhu pahuwandu hwemhepo. Inokamurwa zvichienderana nehuwandu hwezvinhu zvakasungirirwa mumhepo. Kazhinji, kana kukosha kwayo kudiki, chiyero chekucheneswa chinokwira. Kureva kuti, kirasi 10> kirasi 100> kirasi 10000> kirasi 100000.
Mwero wekamuri rekushambidza rekirasi 100 unosanganisira nzvimbo yekuvhiyira, kugadzira mishonga isina utachiona.
Huwandu hwezvimedu zvine hutsanana hukuru kupfuura kana hwakaenzana ne 0.1 micron hahufanirwe kupfuura 100.
Musiyano wekumanikidzwa uye tembiricha nehunyoro 22℃±2; hunyoro 55%±5; chaizvoizvo, inofanira kufukidzwa zvizere neffu uye kugadzira pasi rakakwirira. Gadzirai sisitimu yeMAU+FFU+DC. Chengetedzawo kumanikidzwa kwakanaka, uye kumanikidzwa kwemakamuri ari pedyo kunovimbiswa kuva pa10pa.
Kuvheneka Sezvo zvakawanda zvezviri mukati mebasa mumakamuri akachena asina guruva zvine zvinodiwa zvakanaka uye zvese zviri mudzimba dzakavharwa, kwagara kune zvinodiwa zvakanyanya zvemwenje. Mwenje wemunharaunda: Izvi zvinoreva mwenje wakagadzirirwa kuwedzera kuvheneka kwenzvimbo yakatarwa. Zvisinei, mwenje wemunharaunda hauwanzo shandiswa wega mumwenje wemukati. Mwenje wakasanganiswa: Zvinoreva kuvheneka panzvimbo yebasa kunogadzirwa nemwenje mumwe chete nemwenje wemunharaunda, pakati pazvo kuvheneka kwemwenje wenguva dzose kunofanira kuita 10%-15% yemwenje yese.
Muyero wekamuri rekuchenesa rekirasi 1000 ndewekudzora huwandu hwezvimedu zveguruva zvine saizi iri pasi pe 0.5 microns pa cubic meter kusvika pasi pe 3,500, iyo inosvika padanho repasi rose risina guruva reA. Muyero wepasi rose usina guruva unoshandiswa pakugadzira nekugadzira chip-level une zvinodiwa zvakanyanya zveguruva kupfuura kirasi A. Miyero yakadaro yepamusoro inonyanya kushandiswa mukugadzira mamwe machipisi epamusoro. Huwandu hwezvimedu zveguruva hunodzorwa zvakanyanya mukati me 1,000 pa cubic meter, iyo inowanzozivikanwa se kirasi 1000 muindasitiri yemakamuri ekuchenesa.
Kune akawanda maworkshop akachena asina guruva, kuitira kudzivirira kusvibiswa kwekunze kuti kusapinde, zvakakosha kuchengetedza kumanikidzwa kwemukati (static pressure) kwakakwira kupfuura kumanikidzwa kwekunze (static pressure). Kuchengetedza musiyano wekumanikidzwa kunofanirwa kutevedzera misimboti inotevera: kumanikidzwa kwenzvimbo yakachena kunofanira kunge kwakakwira kupfuura kwenzvimbo isina kuchena; kumanikidzwa kwenzvimbo ine utsanana hwakanyanya kunofanira kunge kwakakwira kupfuura kwenzvimbo iri pedyo ine utsanana hwakaderera; masuo ari pakati pemakamuri akachena akabatana anofanira kuvhurirwa makamuri ane utsanana hwakanyanya. Kuchengetedzwa kwemusiyano wekumanikidzwa kunoenderana nehuwandu hwemhepo yakachena, iyo inofanira kukwanisa kutsiva huwandu hwemhepo inobuda kubva munzvimbo dziri pasi pemusiyano uyu wekumanikidzwa. Naizvozvo, zvinoreva musiyano wekumanikidzwa ndiko kuramba kwehuwandu hwemhepo inobuda (kana kupinda) painopfuura nepakati penzvimbo dzakasiyana-siyana mukamuri rakachena.
Chikamu 10000 chekuchenesa zvinoreva huwandu hwezvimedu zveguruva zvakakura kupfuura kana zvakaenzana ne0.5um zvinopfuura 35,000 particles/m3 (35 particles/) kusvika pasi kana zvakaenzana ne35,000 particles/m3 (350 particles/) uye huwandu hwezvimedu zveguruva zvakakura kana zvakaenzana ne5um hukuru kupfuura 300 particles/m3 (0.3 particles) kusvika pasi kana zvakaenzana ne3,000 particles/m3 (3 particles). Musiyano wekumanikidzwa uye kudzora tembiricha nehunyoro.
Kudzora tembiricha nehunyoro hwemhepo. Bhokisi remhepo rinogadzirisa huwandu hwemvura inopinzwa nemhepo nekudzora kuvhurika kwevharuvhu ine nzira nhatu kuburikidza nechiratidzo chinonzwa.
Chikamu 100000 cleanroom zvinoreva kuti zvidimbu pa cubic meter muworkshop zvinodzorwa mukati me100,000. Workshop yekugadzira yekamuri yakachena inonyanya kushandiswa muindasitiri yemagetsi neindasitiri yemishonga. Zvakanaka kuti indasitiri yechikafu ive neworkshop yekugadzira yekirasi 100,000. Chikamu 100,000 cleanroom inoda shanduko yemhepo 15-19 paawa, Mushure mekufema kwakazara, nguva yekuchenesa mhepo haifanirwe kudarika maminetsi makumi mana.
Musiyano wekumanikidzwa kwemakamuri akachena ane mwero wakafanana wekuchena unofanira kugara wakafanana. Musiyano wekumanikidzwa pakati pemakamuri akachena ari pedyo ane mwero wekuchena wakasiyana unofanira kuva 5Pa, uye musiyano wekumanikidzwa pakati pemakamuri akachena nemakamuri asina kuchena unofanira kuva >10pa.
Kupisa nehunyoro Kana pasina zvinodiwa zvakakosha zvekupisa nehunyoro mukamuri rakachena rekirasi 100,000, zvinokurudzirwa kupfeka mbatya dzebasa dzakachena usinganzwe kusagadzikana. Kupisa kunowanzo dzorwa pa20 ~ 22℃ muchando uye 24 ~ 26℃ muzhizha, nekuchinja-chinja kwe± 2C. Hunyoro hwemakamuri akachena muchando hunodzorwa pa30-50% uye hunyoro hwemakamuri akachena muzhizha hunodzorwa pa50-70%. Kukosha kwekuvhenekesa kwemakamuri makuru ekugadzira mumakamuri akachena (nzvimbo) kunofanirwa kunge kuri >300Lx: kukosha kwekuvhenekesa kwemastudio ekuwedzera, makamuri ekuchenesa vashandi nekuchenesa zvinhu, makamuri emhepo, makoridho, nezvimwewo zvinofanirwa kunge zviri 200 ~ 300L.
Nguva yekutumira: Kubvumbi-14-2025