1. Kubvisa zvidimbu zveguruva muimba yakachena isina guruva
Basa guru rekamuri rakachena nderekudzora kuchena, tembiricha uye hunyoro hwemhepo inoiswa zvinhu (zvakaita sesilicon chips, nezvimwewo) kuti zvigadzirwa zvigone kugadzirwa uye kugadzirwa munzvimbo yakanaka. Tinodana nzvimbo iyi kuti imba yakachena. Sekureva kwetsika dzepasi rose, huwandu hwehutsanana hunonyanya kutariswa nehuwandu hwezvidimbu pa cubic mita yemhepo ine dhayamita yakakura kupfuura chiyero chekupatsanura. Nemamwe mashoko, chinonzi chisina guruva hachina guruva zvachose, asi chinodzorwa muyuniti diki kwazvo. Ehe, zvidimbu zvinosangana nechiyero cheguruva muchiyero ichi zvatova zvidiki zvikuru zvichienzaniswa neguruva rakajairika ratinoona, asi kune zvivakwa zve optical, kunyangwe guruva diki richave nemhedzisiro yakaipa zvikuru, saka kusava neguruva chinhu chisingadzivisike chinodiwa mukugadzirwa kwezvigadzirwa zve optical structure.
Kudzora huwandu hwezvimedu zveguruva zvine saizi yakakura kupfuura kana yakaenzana ne 0.5 microns pa cubic meter kusvika pasi pe 3520/cubic meter kuchasvika kirasi A yemuyero wepasi rose usina guruva. Muyero usina guruva unoshandiswa mukugadzira nekugadzira chip-level une zvinodiwa zvakanyanya zveguruva kupfuura kirasi A, uye mwero wakadaro wepamusoro unonyanya kushandiswa mukugadzira mamwe machipisi epamusoro. Huwandu hwezvimedu zveguruva hunodzorwa zvakanyanya pa 35,200 pa cubic meter, iyo inowanzozivikanwa sekirasi B muindasitiri yemakamuri akachena.
2. Mhando nhatu dzemamiriro emakamuri akachena
Imba yakachena isina chinhu: imba yakachena yakavakwa uye inogona kushandiswa. Ine mabasa ese akakodzera. Zvisinei, hapana michina inoshandiswa nevashandisi munzvimbo iyi.
Kamuri rekuchenesa risingachinji: imba yakachena ine mabasa akakwana, marongero akakodzera uye kuiswa kwakakodzera, iyo inogona kushandiswa zvichienderana nemarongero kana kuti iri kushandiswa, asi hapana vanoishandisa panzvimbo yacho.
Kamuri rekuchenesa rinogara richishandiswa: imba yakachena iri kushandiswa zvakajairika, ine mabasa ese ebasa, michina nevashandi; kana zvichidikanwa, basa rakajairika rinogona kuitwa.
3. Zvinhu zvekudzora
(1). Inogona kubvisa zvidimbu zveguruva zviri kuyerera mumhepo.
(2). Inogona kudzivirira kugadzirwa kweguruva.
(3). Kudzora tembiricha nehunyoro.
(4). Kudzora kumanikidzwa.
(5). Kubviswa kwemagasi anokuvadza.
(6). Kusimba kwemhepo muzvivako nezvikamu.
(7). Kudzivirira magetsi asingachinji.
(8). Kudzivirira kukanganiswa kwemagetsi.
(9). Kufunga nezvezvinhu zvekuchengetedza.
(10). Kufunga nezvekuchengetedza simba.
4. Kupatsanura
Rudzi rwekuyerera kwemhepo inovhuvhuta
Mhepo inopinda mukamuri rakachena ichibva mubhokisi remhepo inotonhodza mweya ichipinda nemumugero wemhepo nefirita yemhepo (HEPA) mukamuri rakachena, uye inodzoserwa kubva kumapanera emadziro ekuparadzanisa kana pasi rakakwirira kumativi ese ekamuri rakachena. Kuyerera kwemhepo hakufambi nenzira yakatwasuka asi kunoratidza mamiriro asina kurongeka kana eddy. Rudzi urwu rwakakodzera imba yakachena yekirasi 1,000-100,000.
Tsanangudzo: Imba yakachena umo mweya unoyerera nekumhanya kusina kuenzana uye usingaenderane, uchiperekedzwa nekubuda kwemhepo kana kuti eddy current.
Musimboti: Makamuri akachena ane mhepo inovhuvhuta anoshandisa mweya unoyerera kuti urambe uchidzikisa mweya wemukati uye zvishoma nezvishoma udzikise mweya wakasviba kuti uve wakachena (makamuri akachena ane mhepo inovhuvhuta anowanzo gadzirwa pamazinga ekuchena ari pamusoro pe1,000 kusvika 300,000).
Zvakanakira: Makamuri akachena ane mhepo yakawanda anoshandisa mhepo yakawanda kuti awane hutsanana uye mazinga ehutsanana. Huwandu hwekuchinja kwemhepo hunosarudza mazinga ekuchenesa mutsanangudzo (kuchinja kwemhepo yakawanda, mazinga ehutsanana anowedzera)
(1) Nguva yekuzvichenesa: zvinoreva nguva iyo imba yakachena inotanga kupa mweya muimba yakachena zvichienderana nehuwandu hwemhepo yakagadzirwa uye huwandu hweguruva mukamuri hunosvika padanho rekuchenesa rakagadzirwa kirasi 1,000 inotarisirwa kusapfuura maminetsi makumi maviri (maminetsi gumi nemashanu anogona kushandiswa pakuverenga) kirasi 10,000 inotarisirwa kusapfuura maminetsi makumi matatu (maminetsi makumi maviri nemashanu anogona kushandiswa pakuverenga) kirasi 100,000 inotarisirwa kusapfuura maminetsi makumi mana (maminetsi makumi matatu anogona kushandiswa pakuverenga)
(2) Kufefetera kakawanda (kwakagadzirwa zvichienderana nenguva yekuzvichenesa yataurwa pamusoro apa) kirasi 1,000: 43.5-55.3 kanomwe/awa (yakajairwa: kanomwe/awa) kirasi 10,000: 23.8-28.6 kanomwe/awa (yakajairwa: kanomwe/awa) kirasi 100,000: 14.4-19.2 kanomwe/awa (yakajairwa: kanomwe/awa)
Zvakanakira: chimiro chiri nyore, mutengo wakaderera wekuvaka sisitimu, nzvimbo yakachena iri nyore kuwedzera, mune dzimwe nzvimbo dzakakosha, bhenji rakachena risina guruva rinogona kushandiswa kuvandudza giredhi rekamuri rakachena.
Zvakashata: zvidimbu zveguruva zvinokonzerwa nekusagadzikana zvinoyangarara munzvimbo yemukati uye zvakaoma kuburitsa, izvo zvinogona kusvibisa zviri nyore zvigadzirwa zve process. Pamusoro pezvo, kana sisitimu ikamiswa yobva yavhurwa, zvinowanzotora nguva yakareba kuti pave nekuchena kunodiwa.
Kuyerera kweLaminar
Mhepo inoyerera neLaminar inofamba yakatwasuka zvakaenzana. Mhepo inopinda mukamuri kuburikidza nesefa ine chiyero che100% uye inodzoserwa kuburikidza nepasi rakakwirira kana mabhodhi ekuparadzanisa kumativi ese. Rudzi urwu rwakakodzera kushandiswa munzvimbo dzakachena dzemakamuri dzine mamakisi epamusoro emakamuri ekushambidzira, kazhinji kirasi 1 ~ 100. Kune mhando mbiri:
(1) Kuyerera kwemhepo yakatwasuka: Mhepo yakatwasuka inoburitswa kubva mufirita ichienda kudivi rimwe chete yodzoserwa nemhepo inodzoka iri pamadziro akatarisana. Guruva rinoburitswa kunze nemhepo yakananga. Kazhinji, kusvibiswa kwemhepo kwakanyanya kune rumwe rutivi rwemvura.
Zvakanakira: Chimiro chiri nyore, chinogona kugadzikana munguva pfupi mushure mekushanda.
Zvakashata: Mari yekuvaka yakakwira kupfuura mvura inoyerera isina kugadzikana, uye nzvimbo yemukati haisi nyore kuwedzera.
(2) Kuyerera kwelaminar yakatwasuka: Denga remukamuri rakafukidzwa zvizere nemafirita eULPA, uye mhepo inofefeterwa kubva kumusoro kusvika pasi, izvo zvinogona kuita kuti pave nekuchena kwakanyanya. Guruva rinogadzirwa panguva yekushanda kana nevashandi rinogona kubudiswa nekukurumidza panze pasina kukanganisa dzimwe nzvimbo dzebasa.
Zvakanakira: Zviri nyore kutarisira, mamiriro akagadzikana anogona kuwanikwa mukati menguva pfupi mushure mekunge oparesheni yatanga, uye hazvikanganisike zviri nyore nemamiriro ekushanda kana maoperators.
Zvakashata: Mari yakawanda yekuvaka, nzvimbo yakaoma kushandisa zviri nyore, machira ekurembera padenga anotora nzvimbo yakawanda, uye anonetsa kugadzirisa nekutsiva mafirita.
Rudzi rwezvinhu zvakasanganiswa
Rudzi rwakabatana nderokubatanidza kana kushandisa rudzi rwekuyerera kwemhepo inovhunduka uye rudzi rwekuyerera kwemhepo inovhuvhuta pamwe chete, izvo zvinogona kupa mhepo yakachena kwazvo munharaunda.
(1) Clean Tunnel: Shandisa mafirita eHEPA kana ULPA kuti uvhare 100% yenzvimbo yekushanda kana nzvimbo yebasa kuti uwedzere kuchena kusvika pamusoro peKirasi 10, izvo zvinogona kuchengetedza mari yekuisa nekushandisa.
Rudzi urwu runoda kuti nzvimbo yebasa yemushandi iparadzaniswe nekugadzirwa kwezvigadzirwa nekugadzirwa kwemuchina kuti isakanganise basa nerudzi rwemuchina panguva yekugadzirisa muchina.
Matuneru akachena ane zvimwe zvakanakira zviviri: A. Zviri nyore kuwedzera nekuchinjika; B. Kugadzirisa michina kunogona kuitwa zviri nyore munzvimbo yekugadzirisa.
(2) Clean Tube: Kochekera uye chenesa mutsetse wekugadzira otomatiki unopfuura nepakati pechigadzirwa, uye wedzera hutsanana kusvika pamusoro pekirasi 100. Nekuti chigadzirwa, mushandi uye nzvimbo inogadzira guruva zvakaparadzana, huwandu hushoma hwemhepo hunogona kuita kuti pave nekuchena kwakanaka, izvo zvinogona kuchengetedza simba uye zvakakodzera kwazvo kumitsetse yekugadzira otomatiki isingade basa remaoko. Inoshanda kumaindasitiri emishonga, chikafu uye semiconductor.
(3) Nzvimbo Yakachena: Hutsanana hwenzvimbo yekugadzira chigadzirwa mukamuri rakachena rine huwandu hwekamuri rakachena hwe10,000~100,000 hunowedzerwa kusvika 10~1000 kana kupfuura pakugadzira; mabhenji ekushandira akachena, mashedhi akachena, makamuri akachena akagadziriswa kare, uye mawadhiropu akachena ndeechikamu ichi.
Bhenji rakachena: kirasi 1 ~ 100.
Dumba rakachena: Nzvimbo diki yakakomberedzwa nejira repurasitiki rinopenya risingachinji munzvimbo yakachena, ichishandisa HEPA kana ULPA nema air conditioner units akazvimiririra kuti ive nzvimbo yakachena yepamusoro, ine mwero we10~1000, kureba kwemamita angangoita 2.5, uye nzvimbo inofukidza inenge 10m2 kana pasi. Ine mbiru ina uye ine mavhiri anofambiswa kuti ashandiswe zviri nyore.
5. Kuyerera kweMhepo
Kukosha kweMhepo Inoyerera
Kuchena kwekamuri rakachena kunowanzo kanganiswa nemhepo inoyerera. Nemamwe mashoko, kufamba nekupararira kweguruva rinogadzirwa nevanhu, zvikamu zvemuchina, zvivakwa, nezvimwewo zvinodzorwa nemhepo inoyerera.
Kamuri rakachena rinoshandisa HEPA neULPA kusefa mhepo, uye mwero wekuunganidzwa kweguruva wakakwira kusvika 99.97~99.99995%, saka mhepo inosefa nesefa iyi inogona kunzi yakachena kwazvo. Zvisinei, pamusoro pevanhu, kunewo nzvimbo dzine guruva dzakadai semichina iri mukamuri rakachena. Kana guruva iri rapararira, hazvigoneke kuchengetedza nzvimbo yakachena, saka mhepo inofanira kushandiswa kuburitsa guruva rinogadzirwa panze nekukurumidza.
Zvinhu Zvinopesvedzera
Pane zvinhu zvakawanda zvinokanganisa kufamba kwemhepo muimba yakachena, zvakaita semichina yekugadzira, vashandi, zvinhu zvekubatanidza imba yakachena, mwenje, nezvimwewo. Panguva imwe chete, nzvimbo yekutsauka kwemhepo pamusoro pemichina yekugadzira inofanirawo kufungwa nezvayo.
Nzvimbo yekutsausa mweya pamusoro petafura yekushanda kana michina yekugadzira inofanira kuiswa pa2/3 yedaro riri pakati penzvimbo yakachena yekamuri nebhodhi rekuparadzanisa. Nenzira iyi, kana mushandi ari kushanda, mhepo inogona kuyerera kubva mukati menzvimbo yekushanda kuenda kunzvimbo yekushanda yobvisa guruva; kana nzvimbo yekutsausa mweya yakagadzirirwa pamberi penzvimbo yekushanda, ichava nzira isina kunaka yekufambisa mweya. Panguva ino, mhepo zhinji ichayerera ichienda kumashure kwenzvimbo yekushanda, uye guruva rinokonzerwa nekushanda kwemushandi richatakurwa kuenda kumashure kwemidziyo, uye bhenji rekushandira richasvibiswa, uye goho richadzikira zvisingadzivisike.
Zvipingamupinyi zvakaita sematafura ekushandira mumakamuri akachena zvichave nemafungu emvura panosangana magetsi, uye kuchena kuri pedyo nawo kuchave kwakaderera. Kuboora gomba remhepo inodzoka patafura yebasa kuchaderedza mafungu emvura; kana kusarudzwa kwezvinhu zvekubatanidza kwakakodzera uye kana marongerwo emidziyo akakwana zvimwe zvezvinhu zvakakoshawo kuti mhepo ifambe zvakanaka.
6. Kuumbwa kwekamuri rakachena
Kuumbwa kwekamuri rakachena kunoumbwa nemasisitimu anotevera (hapana chimwe chazvo chakakosha mumamorekuru ehurongwa), zvikasadaro hazvizokwanisike kugadzira imba yakachena yakakwana uye yepamusoro-soro:
(1) Sisitimu yedenga: inosanganisira tsvimbo yedenga, danda reI kana U, grid redenga kana furemu yedenga.
(2) Sisitimu yemhepo inotonhodza: inosanganisira kabhini yemhepo, sisitimu yekusefa, windingmill, nezvimwewo.
(3) Madziro akapatsanurwa: kusanganisira mahwindo nemasuo.
(4) Pasi: kusanganisira pasi rakakwira kana pasi risingachinji.
(5) Zvishandiso zvemwenje: Rambi rakatsetseka rekuchenesa LED.
Chimiro chikuru chekamuri rakachena chinowanzo gadzirwa nesimbi kana simende yemapfupa, asi zvisinei nekuti imhando yechivakwa chakaita sei, chinofanira kusangana nemamiriro ezvinhu anotevera:
A. Hapana matombo achatsemuka nekuda kwekuchinja kwetembiricha uye kudedera;
B. Hazvisi nyore kugadzira zvidimbu zveguruva, uye zvinonetsa kuti zvidimbu zvibatanidzwe;
C. Kusanyatsooneka zvakanaka;
D. Kuti hunyoro hurambe huripo muimba yakachena, insulation yekupisa inofanira kunge yakakwira;
7. Kupatsanura nekushandiswa
Kamuri rekuchenesa remaindasitiri
Kudzora zvidimbu zvisina hupenyu ndicho chinhu chacho. Chinonyanya kudzora kusvibiswa kwezvikamu zveguruva remhepo kuenda kuchinhu chinoshanda, uye mukati memota munowanzo chengetedza mamiriro akanaka ekumanikidzwa. Yakakodzera indasitiri yemichina chaiyo, indasitiri yemagetsi (semiconductors, integrated circuits, nezvimwewo), indasitiri yendege, indasitiri yemakemikari akachena zvakanyanya, indasitiri yesimba reatomu, indasitiri yezvigadzirwa zve optical uye magnetic (CD, firimu, tepi yekugadzira) LCD (girazi rekristaro remvura), dhisiki remakomputa, kugadzirwa kwemusoro wekombuta nedzimwe nzvimbo.
Kamuri rakachena remuviri
Inonyanya kudzora kusvibiswa kwezvipenyu (mabhakitiriya) nezvisina upenyu (guruva) kuchinhu chinoshanda. Inogona kukamurwa kuita;
A. Kamuri rekushambidza rezvehupenyu: rinonyanya kudzora kusvibiswa kwezvinhu zvehutachiona (mabhakitiriya). Panguva imwe chete, zvinhu zvemukati maro zvinofanirwa kukwanisa kutsungirira kuputsika kwezvinhu zvakasiyana-siyana zvinouraya utachiona, uye mukati maro munowanzo vimbisa kumanikidzwa kwakanaka. Chaizvoizvo, zvinhu zvemukati zvinofanirwa kukwanisa kutsungirira kurapwa kwakasiyana-siyana kwekuchenesa kwemakamuri ekushambidza eindasitiri. Mienzaniso: indasitiri yemishonga, zvipatara (makamuri ekuvhiya, mawadhi asina utachiona), chikafu, zvizoro, kugadzirwa kwezvigadzirwa zvezvinwiwa, marabhoritari emhuka, marabhoritari ekuongorora makemikari nemuviri, nzvimbo dzeropa, nezvimwewo.
B. Kuchengetedzwa kwemuviri kunobatsira kuchengetedza nzvimbo yakachena: inonyanya kudzora kusvibiswa kwezvipenyu zvechinhu chinoshanda kunyika yekunze nevanhu. Kumanikidzwa kwemukati kunofanirwa kuchengetedzwa kusina kunaka nemhepo. Mienzaniso: bhakitiriya, biology, marabhoritari akachena, physical engineering (majini akabatanidzwa, kugadzira majekiseni)
Nguva yekutumira: Kukadzi-07-2025